PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Шушков В.М.

Изобретатель Шушков В.М. является автором следующих патентов:

Способ регулирования уровня расплава в тигле в процессе выращивания кристаллов методом чохральского

Способ регулирования уровня расплава в тигле в процессе выращивания кристаллов методом чохральского

 Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов. Положение уровня расплава контролируют с помощью видеокамеры, которую устанавливают под углом к вертикали. С помощью непрерывно получаемого видеоизображения определяют угол между вертикалью и лучом, проходящим через фокус оптической системы видеокамеры и центр окружности, образованной выращиваемым кристаллом на границ...

2227819