Реппа Алевтина Александровна (RU)
Изобретатель Реппа Алевтина Александровна (RU) является автором следующих патентов:
![Устройство свч плазменной обработки Устройство свч плазменной обработки](https://img.patentdb.ru/i/200x200/3504b0ccaafd22dd3cc9eaf659b0251d.jpg)
Устройство свч плазменной обработки
Изобретение относится к СВЧ плазменным установкам для проведения процессов травления и осаждения слоев - металлов, полупроводников, диэлектриков при пониженном давлении и может быть использовано в технологических процессах создания полупроводниковых приборов с высокой степенью интеграции. Изобретение обеспечивает улучшение равномерности обработки кремниевых пластин, упрощение настройки горения п...
2539872