PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Реппа Алевтина Александровна (RU)

Изобретатель Реппа Алевтина Александровна (RU) является автором следующих патентов:

Устройство свч плазменной обработки

Устройство свч плазменной обработки

Изобретение относится к СВЧ плазменным установкам для проведения процессов травления и осаждения слоев - металлов, полупроводников, диэлектриков при пониженном давлении и может быть использовано в технологических процессах создания полупроводниковых приборов с высокой степенью интеграции. Изобретение обеспечивает улучшение равномерности обработки кремниевых пластин, упрощение настройки горения п...

2539872