МАЕДА, Акихиро (JP)

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность. Сущность: устройство включает в себя: масс-спектрометрическую трубку (2), выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки, и турбомолекулярный насос (3). Турбомолекулярный насос (3) имеет множество ступеней роторов (33) и статоров (34), поочередно размещенных в корпусе (31), причем роторы (33) прикреплены к...