Смирнов С.Н. (RU)

 Изобретение относится к получению неорганических фторидов, в частности к электрохимическому способу получения трифторида азота (ТФА). Трифторид азота применяется как носитель фтора в технологии травления кремниевых кристаллов при производстве микропроцессоров, а также как окислитель в лазерах с высокой энергией излучения. Трифторид азота получают электрохимическим фторированием фтористово...