PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Чебурахин Игорь Николаевич (RU)

Изобретатель Чебурахин Игорь Николаевич (RU) является автором следующих патентов:

Способ изготовления термоустойчивой нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин

Способ изготовления термоустойчивой нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин

Изобретение относится к измерительной технике. С его помощью представляется возможным расширить температурный диапазон работы датчика на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы, повысить воспроизводимость таких параметров тензорезисторов, как электрическое сопротивление и температурный коэффициент сопротивления, снизить температурную чувствительность датчиков. В способе из...

2548380

Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами

Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами

Изобретение относится к области электронной техники, в частности технологии изготовления датчиков, преимущественно тензометрических датчиков давления. Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами заключается в термостабилизации упругого элемента с циклическим разогревом тензорезисторов до температур. Высокотемпературный отжиг проводят в вакууме в три цикла до темпера...

2566538

Способ изготовления тонкопленочных резисторов

Способ изготовления тонкопленочных резисторов

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к средствам измерения, в конструкции которых применен тензорезистивный элемент на металлической подложке, изготовленный с использованием тонкопленочной технологии. Способ изготовления тонкопленочных резисторов включает последовательное напыление на диэлектрическую подложку резистивной и проводящей пленок, формирование микрорисунка рез...

2568812