PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Салтуганов Павел Николаевич (RU)

Изобретатель Салтуганов Павел Николаевич (RU) является автором следующих патентов:

Способ формирования микроструктурированного и высокодопированного слоя на поверхности кремния

Способ формирования микроструктурированного и высокодопированного слоя на поверхности кремния

Изобретение может быть использовано при изготовлении фоточувствительных элементов солнечной энергетики и приборов ночного видения. Сухую поверхность кремния облучают множественными фокусированными ультракороткими фемто- или короткими пикосекундными лазерными импульсами (УКИ) для её абляционного микроструктурирования. Затем для допирования поверхностного слоя кремния атомами серы микроструктуриро...

2550868