Франгульян Т.С. (RU)

 Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для определения распределения компонент тонкой пленки по глубине при изготовлении многослойных тонкопленочных структур и полупроводниковых приборов. Сущность изобретения состоит в том, что на две идентичных по свойствам подложки наносят тонкую пленку в виде круглого пятна. Одну из подложек использую...

 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для определения распределения химических элементов по глубине при изготовлении многослойных тонкопленочных структур и полупроводниковых приборов. Способ послойного анализа тонких пленок заключается в нанесении тонкой пленки на подложку, размещении сверху металлической диафрагмы с отверстием, травлении подло...

 Использование: для определения распределения зерен по размерам в керамических материалах. Сущность: способ заключается в том, что на поверхности образца керамического материала формируют шлиф, поверхность шлифа полируют до 10-12 класса чистоты, облучают 1-10 импульсами пучка электронов с энергией электронов 15-30 кэВ, длительностью импульса 30-40 мкс и плотностью тока в пучке 40-50 А/см2,...

Изобретение относится к области электронно-лучевой технологии и может быть использовано для получения сверхмелкозернистых материалов, в частности ультрадисперсной двуокиси кремния. Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния включает нагревание кремнеземсодержащего вещества релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении до парофазного состояния, воздействие на расплав ультразвуко...

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для определения параметров диффузии кислорода в твердых поликристаллических телах в материаловедении и физике твердого тела. Технический результат изобретения: снижение трудоемкости и повышение точности определения диффузионных констант в поликристаллических материалах. Сущность: способ включает удаление у о...