Камышов И.А. (RU)

 Использование: микроэлектроника, плазменная технология производства изделий микроэлектроники, в процессе металлизации структур с субмикронными размерами элементов. Сущность изобретения: при зажигании в вакуумной камере с инертным газом СВЧ-ЭЦР разряда ионы этих газов выбивают из металлической мишени атомы металла. Для ускорения движения ионов на мишень подается отрицательное напряжение в...