ХАНФАУГ Рабах (NL)
Изобретатель ХАНФАУГ Рабах (NL) является автором следующих патентов:
Система литографии, датчик, элемент преобразователя и способ изготовления
Система литографии элементарными пучками заряженных частиц для переноса шаблона на поверхность мишени содержит датчик для определения одной или нескольких характеристик одного или нескольких элементарных пучков заряженных частиц. Датчик содержит элемент (1) преобразователя для приема заряженных частиц (22) и генерации в ответ фотонов. Этот элемент преобразователя содержит поверхность для при...
2562126