МЕЙЕР Ян Андрис (NL)

Изобретение относится к способу определения расстояния между двумя составляющими лучами заряженных частиц в устройстве экспонирования с множеством составляющих лучей. В устройстве предусмотрен датчик, содержащий преобразовательный элемент (1), предназначенный для преобразования энергии заряженных частиц (2) в свет (3), и светочувствительный детектор (5). В преобразовательном элементе предусмотре...