Рогачев Илья Александрович (RU)
Изобретатель Рогачев Илья Александрович (RU) является автором следующих патентов:
Способ селективного реактивного ионного травления полупроводниковой гетероструктуры
Изобретение относится к электронной технике СВЧ. Способ селективного реактивного ионного травления полупроводниковой гетероструктуры, имеющей, по меньшей мере, последовательность слоев GaAs/AlGaAs с заданными характеристиками, включает расположение полупроводниковой гетероструктуры на подложкодержателе в реакторе системы реактивного ионного травления с обеспечением контактирования слоя арсенида...
2576412