ЛАУККАНЕН, Пекка (FI)
Изобретатель ЛАУККАНЕН, Пекка (FI) является автором следующих патентов:
Способ обработки подложки и подложка
Использование: для формирования стабильного и кристаллического оксидного слоя на подложке. Сущность изобретения заключается в том, что очищают поверхность подложки из In-содержащего III-As, III-Sb или III-P от аморфных естественных оксидов, нагревают очищенную подложку из In-содержащего III-As до температуры примерно 340-400°С, очищенную подложку из In-содержащего III-Sb нагревают до температур...
2576547