Лукашевич Ярослав Константинович (RU)

Способ изготовления решеток-поляризаторов включает в себя нанесение на решетку-матрицу разделительного слоя и металлического покрытия. Наносят дополнительно защитный слой из материала, прозрачного в заданной области спектра. Формируют на решетке-матрице прозрачную в заданной области спектра копию. При формировании размещают на копирующий материал подложку из материала, также прозрачного в заданн...

Использование: для изготовления дифракционных решеток с малыми углами «блеска» в пределах 0,5°-2° в твердых хрупких материалах подложек. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает в себя формирование штрихов заданной частоты, с геометрическими параметрами в поперечном сечении, близкими к заданным параметрам штрихов дифракционной решетки, в слое пластичного материала на полированно...

Способ изготовления дифракционных решеток включает в себя нанесение на подложку слоя материала, формирование в нем штрихов и удаление слоя материала посредством реактивного ионно-лучевого травления. Сформированные в слое материала штрихи используют в качестве технологических штрихов, которые полностью удаляют вместе с оставшейся толщиной слоя материала. Реактивное ионно-лучевое травление осуществл...