ФУДЗИИ Рио (JP)
Изобретатель ФУДЗИИ Рио (JP) является автором следующих патентов:
Устройство автоматической регенерации литиевой мишени и способ автоматической регенерации литиевой мишени
Изобретение относится к средствам автоматической регенерации литиевой мишени. Заявленные способ и устройство предусматривают наличие функции измерения толщины пленки лития литиевой мишени и возможность автоматической регенерации расходуемой литиевой мишени посредством перемещения источника осаждения из паровой фазы к литиевой мишени. Устройство (106) автоматической регенерации литиевой мишени об...
2597879