PatentDB.ru — поиск по патентным документам

СУ Исон Ю-Шен (TW)

Изобретатель СУ Исон Ю-Шен (TW) является автором следующих патентов:

Композиция для химико-механического полирования, содержащая поливинилфосфоновую кислоту и ее производные

Композиция для химико-механического полирования, содержащая поливинилфосфоновую кислоту и ее производные

Изобретение главным образом относится к композиции для химико-механического полирования (ХМП) и ее применению в полирующих субстратах полупроводниковой промышленности. Композиция содержит (A) неорганические частицы, органические частицы или их смесь, или их композит, (B) по меньшей мере один тип поливинилфосфоновой кислоты или ее соль в качестве диспергирующего агента или агента для обращения за...

2598046