Фюрст Л.Г. (RU)

 Изобретение относится к нанотехнологии, а именно к устройствам, обеспечивающим микроперемещения по трем координатам, например, в качестве сканера в зондовой микроскопии. Изобретение направлено на повышение точности перемещения. Это обеспечивается за счет того, что устройство перемещения состоит из основания с закрепленным на нем одним концом блоком перемещения по одной координате (Z), на...

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) физических характеристик поверхности объектов с одновременным оптическим наблюдением зоны сканирования. Сущность изобретения состоит в том, что в СЗМ, совмещенном с оптическим микроскопом (ОМ), который содержит основание, зонд, пьезосканер, держатель объекта с объектом,...