Лугина В.В. (RU)

 Способ относится к области электронной техники и может быть использован в производстве тонкопленочных резисторов. Способ включает последовательное нанесение на диэлектрическую подложку резистивного и проводящих слоев и формирование рисунка схемы. Для подстройки сопротивления резистора к требуемому значению осуществляют деформацию подложки в направлении, соответствующему знаку требуемого п...

 Изобретение относится к электротехнической промышленности в частности к тонкопленочной микроэлектронике. Техническим результатом изобретения является снижение трудоемкости изготовления микросхемы при сохранении механической и электрической надежности контактирования резистивного элемента с выводом микросхемы. Контактную площадку создают из алюминия с подслоем металла и защитным слоем. В к...

 Изобретение относится к области электротехники, в частности к производству тонкопленочных микросхем. Способ лазерной подгонки интегральных схем включает непрерывное удаление материала пленочного элемента в виде непрерывного реза изменяющейся ширины лазерным лучом, сфокусированное пятно которого перемещается по поверхности пленочного элемента, испаряя его материал до достижения заданного з...