РУМ, Курт (LI)

Изобретение относится к способу и установке для магнетронного распыления материала с поверхности мишени с обеспечением большей процентной доли распыленного материала в форме ионов. Создают плазменный разряд с плотностью тока разряда свыше 0,2 А/см. Используют по меньшей мере два магнетронных источника распыляемого материала с предварительно заданной допустимой температурой нагрева и предваритель...