Резванов Аскар Анварович (RU)
Изобретатель Резванов Аскар Анварович (RU) является автором следующих патентов:
Способ определения температуры пористого слоя по изменениям показателя преломления при адсорбции
Изобретение относится к области измерений температуры тонких поверхностных слоев, в частности пористого диэлектрического слоя в химической промышленности (катализ), при изготовлении оптических и химических сенсоров, а так же в процессе криогенного травления диэлектриков в технологии микроэлектроники. Заявлен бесконтактный способ измерения температуры пористого слоя, характеризующийся тем, что те...
2602421