Гужов Василий Юрьевич (RU)

Изобретение относится к области технологии нанесения вакуумных покрытий на оптические детали. Способ диагностики присутствия паров масла в объеме вакуумной камеры перед нанесением вакуумного покрытия на оптические детали включает помещение перед загрузкой оптических деталей в вакуумную камеру очищенной контрольной стеклянной пластины, откачку воздуха из вакуумной камеры, извлечение наружу контро...

Способ изготовления дифракционной решетки включает в себя вакуумное нанесение алюминиевого покрытия и формирование штрихов треугольного микропрофиля алмазным резцом делительной машины. Дополнительно дифракционную решетку помещают в вакуумную камеру для ионно-лучевого травления, при котором производят коррекцию треугольного микропрофиля штрихов путем удаления «навала» на нерабочей грани штриха путе...