ОМС Томас Адриан (NL)
Изобретатель ОМС Томас Адриан (NL) является автором следующих патентов:
Система литографии с модулем дифференциального интерферометра
Изобретение относится к области литографии и касается системы литографии. Система литографии включает в себя основание, установленную на основании оптическую колонну для проецирования шаблона на мишень, подвижный держатель мишени, модуль дифференциального интерферометра, предназначенный для измерения смещения держателя мишени. Держатель мишени и оптическая колонна снабжены соответственно первым и...
2612361