Шонер Адольф (SE)
Изобретатель Шонер Адольф (SE) является автором следующих патентов:
Способ получения полупроводникового карбидокремниевого элемента
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии производства электронных приборов на карбиде кремния (SiC), например, МДП транзисторов с улучшенными рабочими характеристиками. В способе получения полупроводникового карбидокремниевого элемента, включающем введение ионов фосфора в SiC подложку путем ионной имплантации и дальнейшее формирование на ней слоя SiO2, имплан...
2613013