Былинкин С.Ф. (RU)

 Изобретение относится к измерительной технике. Чувствительный элемент интегрального акселерометра, выполненный из проводящего монокристаллического кремния, содержит маятник 3, соединенный с помощью упругих подвесов 2 с каркасной рамкой 1, и центральную опору 5 крепления с неподвижным основанием 6, которая соединена с каркасной рамкой 1 с помощью консоли 4. Техническим результатом является...

 Изобретение относится к измерительной технике. Интегральный акселерометр содержит кремниевый чувствительный элемент в виде маятника, который одновременно является подвижным электродом емкостного моста, встроенный электронный блок, а также цепь отрицательной обратной связи, содержащую модулятор, который преобразует постоянное выходное напряжение в переменное и подает его на питание емкостн...

 Изобретение может применяться в интегральных гироскопах, использующих вибрирующие массы. Датчик содержит основание 1, четыре подвижные массы 1, 6, 9 и 10, Г-образные балки для подвеса подвижных масс и центральную площадку 7, к которой крепятся балки. Каждая подвижная масса подвешена на двух балках, а центральная площадка 7 жестко соединена с основанием. Все колебания системы совершаются т...

 Изобретение может применяться в интегральных акселерометрах и микрогироскопах с силовой компенсацией. Магнитоэлектрический преобразователь силы содержит магнитопровод 2, два постоянных магнита 4 с полюсными наконечниками 5, между которыми образованы зазоры 3, где проходят проводники 7 и 8 возвращающей обмотки, которые включены так, что токи в них направлены противоположно. Вся магнитная с...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться при изготовлении интегральных акселерометров. Чувствительный элемент выполнен из проводящего монокристаллического кремния и содержит маятник 4, соединенный с помощью упругих подвесов 3 с каркасной кромкой 2, которая с помощью консольной балки 7 соединена с несущей рамкой 1. Рамка 1 площадками крепления жестко соединена с основанием...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических акселерометрах и гироскопах. Датчик содержит маятник 1 и рамку 2, соединенные упругим подвесом 3. С двух сторон подвеса 3 выполнены канавки 4, которые заходят также на маятник 1 и рамку 2. На дне канавок 4 расположены проводящие дорожки 6, соединяющие контактные площадки 5, расположенные на дне канавок 4 на маятн...

Использование: при изготовлении микромеханических приборов на твердом теле при групповой сборке микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является обеспечение более высокого качества соединения и за счет этого повышение процента выхода годных соединяемых кристаллов. Сущность изобретения: приспособление для группового соединения микромеханических деталей содержит плоское основ...