Вавилов И.В. (RU)

 Изобретение относится к измерительной технике. Чувствительный элемент интегрального акселерометра, выполненный из проводящего монокристаллического кремния, содержит маятник 3, соединенный с помощью упругих подвесов 2 с каркасной рамкой 1, и центральную опору 5 крепления с неподвижным основанием 6, которая соединена с каркасной рамкой 1 с помощью консоли 4. Техническим результатом является...

 Изобретение относится к измерительной технике. Интегральный акселерометр содержит кремниевый чувствительный элемент в виде маятника, который одновременно является подвижным электродом емкостного моста, встроенный электронный блок, а также цепь отрицательной обратной связи, содержащую модулятор, который преобразует постоянное выходное напряжение в переменное и подает его на питание емкостн...