Моисеев О.Ю. (RU)

 Способ изготовления дифракционных оптических элементов заключается в послойном нанесении фоторезистивных слоев, каждый из которых подвергают операциям засветки через соответствующий шаблон, проявления и задубливания. При этом формирование ступенчатого рельефа начинают со второй ступени, а после получения всех ступеней на них наносят дополнительный маскирующий слой фоторезиста, устойчивый...