Евдокимов Максим Геннадьевич (RU)

Изобретение относится к области изготовления трехмерных интегральных оптических волноводных структур. Устройство для изготовления интегральной оптической волноводной структуры в оптически прозрачном образце с показателем преломления n1, включающее в себя трехмерную систему перемещения обрабатываемого образца, электронный блок контроля, ПЗС камеру, пьезоэлектрический дефлектор, объектив, по крайней...