Танская Татьяна Николаевна (RU)

Использование: для изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов с Брэгговским отражателем. Сущность изобретения заключается в том, что способ сглаживания поверхности пленки алюминия на диэлектрической подложке включает напыление пленки на подложку методом магнетронного распыления алюминиевой мишени в вакууме и с использованием металла иттрия, совместно распыляют алюминий и иттрий, причем иттрий рав...

Изобретение относится к электронной технике, в частности к конструкции и технологии изготовления многослойной комбинированной платы ГИС. Многослойная комбинированная плата ГИС состоит из тонкопленочной платы на основе LTCC керамики, на которую нанесены тонкопленочные проводящие слои, на обеих внешних поверхностях тонкопленочных LTCC платы расположены толстопленочные проводящие слои, на поверхность...