Арутюнян Зорий Робертович (RU)

Изобретение относится к областям вакуумного и электронного приборостроения, ядерной технике и другим областям, требующим высокой чистоты от поверхностей, работающих в условиях контролируемой внешней среды. Датчик чистоты поверхности пластин содержит исследуемую пластину, установленную с возможностью движения поверх неподвижной базовой пластины, и измерительный блок. При этом датчик дополнительно с...