КАРАКАЯ Корай (NL)

Использование: для изготовления емкостного преобразователя, полученного микрообработкой, в частности CMUT. Сущность изобретения заключается в том, что способ содержит этапы, на которых осаждают первый электродный слой на подложку, осаждают первую диэлектрическую пленку на первый электродный слой, осаждают жертвенный слой на первую диэлектрическую пленку, причем жертвенный слой выполнен с возможн...

Использование: для изготовления емкостного преобразователя. Сущность изобретения заключается в том, что способ содержит этапы, на которых осаждают первый электродный слой на подложку, осаждают первую диэлектрическую пленку на первый электродный слой, осаждают жертвенный слой на первую диэлектрическую пленку, причем жертвенный слой выполнен с возможностью удаления для формирования полости прео...

Способ обработки пыли, согласно которому измеряют (на этапе РС1) первое количество частиц первого размера (например, РМ10) и измеряют (на этапе РС2) второе количество частиц второго размера (например, РМ2.5), меньшего, чем первый размер. В соответствии с изобретением определяют (на этапе Δ), превышает ли первое количество второе количество на заданную пороговую величину. Если так, то роботизирован...