Тумаркин Андрей Вилевич (RU)

Способ получения сегнетоэлектрической пленки Ba1-xSrxTiO3 относится к технологиям получения тонких пленок и может быть использован при получении сегнетоэлектрических пленок Ba1-xSrxTiO3 для сверхвысокочастотной техники. На первом этапе на сапфировой подложке формируют сплошной сегнетоэлектрический слой путем распыления мишени состава Ba1-xSrxTiO3 в атмосфере кислорода с давлением 2 Па и температур...