Михуткин Алексей Александрович (RU)
Изобретатель Михуткин Алексей Александрович (RU) является автором следующих патентов:
Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого объекта. Сущность изобретения: исследуемая кремниевая структура предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давлени...
2622896