ГЕРТНЕР Георг Фридрих (NL)

Изобретение относится к области изготовления диспенсерных катодов на основе скандата бария или других материалов на основе скандата бария, а именно к материалу мишени и мишени для физического осаждения тонких пленок, дисперсному катоду на основе скандата бария и способу его получения и способу получения мишени. Мишень (66) содержит смесь или состоит из смеси оксида бария ВаО, оксида кальция Са...