Дедкова Анна Александровна (RU)
Изобретатель Дедкова Анна Александровна (RU) является автором следующих патентов:

Способ измерения механических напряжений в мэмс-структурах
Использование: для измерения механических напряжений в МЭМС структурах. Сущность изобретения заключается в том, что способ измерения механических напряжений в МЭМС структурах включает формирование между пленкой-покрытием и основой промежуточного слоя, при этом промежуточный слой может иметь произвольную толщину, измеряют относительное удлинение пленки-покрытия по изменению величины зазора между кр...
2624611