Ермолаев Владимир Сергеевич (RU)

Изобретение может быть использовано для создания отражательных оптических элементов, в том числе внеатмосферных. Зеркало включает подложку, разделительный и отражающий слои. Подложка выполнена из углеродсодержащего композиционного материала. Разделительный слой выполнен из чистого кремния. Способ изготовления включает получение подложки из углеродсодержащего композиционного материала, формирование...

Изобретение относится к технологии получения пленок аморфного кремния и может быть использовано в современной микроэлектронике, оптоэлектронике и интегральной оптике для создания интегральных схем, тонкопленочных солнечных элементов и транзисторных матриц большой площади для жидкокристаллических дисплеев. Способ нанесения тонкого слоя аморфного кремния на подложку включает обеспечение контакта пов...