Четвертухин Артем Вячеславович (RU)

Изобретение относится к области литографии и касается устройства для изготовления периодических микроструктур методом лазерной интерференционной литографии. Устройство включает в себя лазерный источник излучения, щелевую диафрагму, расширитель пучка и держатель образца с закрепленным на нем зеркалом. В качестве лазерного источника излучения используют лазер с перестраиваемой длиной волны. Расширит...

Группа изобретений относится к способам и устройствам для измерения и анализа концентраций газообразных и жидких сред. Сенсорный элемент для детектирования изменения состава исследуемой жидкой или газообразной среды представляет собой многослойный наноструктурированный материал с сенсорной поверхностью, выполненный в виде дифракционной решетки с периодом от 300 до 3000 нм, обеспечивающей возможнос...

Изобретение относится к области фотомеханического изготовления текстурированных поверхностей и касается устройства для получения мультимодальной структуры на поверхности образца методом лазерной интерференционной литографии. Устройство выполнено на основе интерферометра Ллойда и включает в себя держатель для размещения исходного образца, отражатель, установленный относительно держателя с возможнос...