PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Вторушин Сергей Евгеньевич (RU)

Изобретатель Вторушин Сергей Евгеньевич (RU) является автором следующих патентов:

Интегральный микромеханический гироскоп

Интегральный микромеханический гироскоп

Изобретение относится к гироскопическим приборам, а именно к датчикам угловой скорости, основанным на Кориолисовых силах, и может быть использовано для измерения угловой скорости. Интегральный микромеханический гироскоп, выполненный из полупроводникового материала, содержит рамку, закрепленную на диэлектрическом основании в неподвижных анкерах через упругие перемычки (4). На рамке выполнены гребен...

2630542