КОЯМА, Харумити (JP)

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано для полирования изделий, например подложек. Устройство содержит полировочную пластину, имеющую верхнюю поверхность с полировочной тканью и установленную с возможностью вращения в горизонтальной плоскости. Над полировочной пластиной предусмотрено верхнее кольцо с возможностью перемещения вверх и вниз и вращения в горизон...