СПЕРЛИНГ Франк Бернард (NL)

Группа изобретений относится к позиционирующему устройству, например, для использования в качестве платформы для заготовки для интегральных схем. Платформа с длинным ходом и платформа с коротким ходом укладываются друг на друга. Чтобы инициировать перемещение платформы с длинным ходом и платформы с коротким ходом в требуемом направлении перемещения платформа с длинным ходом сначала перемещается в...