Беляев Илья Викторович (RU)

Изобретение относится к области метрологии тонких пленок. Способ определения толщины пленки с помощью интерферометрии белого света, при котором подложку, содержащую измеряемую пленку, подвергают в интерферометре воздействию белого света с ограниченной когерентностью и измеряют коррелограммы, характеризуется тем, что предварительно подложку, не содержащую измеряемую пленку, подвергают воздействию б...

Изобретение относится к области метрологии тонких пленок, а именно к способу измерения толщины тонких прозрачных пленок бесконтактным способом с помощью интерферометра. При реализации способа измерения толщины тонкой пленки и картирования топографии ее поверхности с помощью интерферометра белого света подвергают воздействию белого света подложку с нанесенной измеряемой пленкой и измеряют набор кор...