Белкин Олег Анатольевич (RU)

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера Co2FeSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера Co2FeSi, спекание-прессование полученной смеси методом электроимпульсного плазменного спекания при температуре 600°С и минимальном давлении 2,5 кН...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера Co2FeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера Co2FeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта, железа и кремния. Спекание порошковой смеси ведут методом электроимпульсного плазменного спекания в гра...