Живодков Юрий Алексеевич (RU)
Изобретатель Живодков Юрий Алексеевич (RU) является автором следующих патентов:
Способ изготовления чувствительного элемента микросистемы контроля параметров движения
Использование: для изготовления конструктивных элементов микромеханических приборов. Сущнось изобретения заключается в том, что на исходной структуре кремний-на-изоляторе (КНИ) структурируют слой кремния, расположенный на диэлектрическом слое, фокусированным ионным пучком (ФИП) до получения с заданной длиной и шириной тела плоской меандрообразной пружины с площадками на концах, при структурировани...
2644029