Коржукова Т.В. (RU)

 Способ измерения толщины пленки включает освещение пучком излучения исследуемой поверхности, в качестве которой выбрано основание, на часть которого нанесена пленка, формирование интерференционной картины, состоящей из двух систем интерференционных полос, перемещение поверхности в направлении падения на нее излучения, фиксирование направления перемещения интерференционных полос и определе...