Ефимов Е.И. (RU)

 Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к информационным преобразователям линейных низкочастотных ускорений с компенсационным преобразованием. Компенсационный акселерометр содержит пластину монокристаллического кремния, имеющую внутреннюю неподвижную часть, соединенную с ней упругим подвесом, дифференциальный емкостный датчик положения, магнитоэлектрический силовой...