Ефимов А.Е. (RU)

 Сканирующий зондовый микроскоп содержит корпус, на котором установлено сканирующее устройство по трем координатам с держателем зонда, держатель объекта, устройство позиционного перемещения зонда относительно объекта, содержащее первый привод, устройство предварительного сближения держателя с держателем объекта и устройство модификации поверхности объекта. Устройство модификации поверхност...