Терехина Светлана Викторовна (RU)

Изобретение относится к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, в частности к устройству для измерения зазора между неподвижными электродами и подвижной массой (ПМ). Устройство для измерения зазора между неподвижными электродами канала вторичных колебаний и ПМ в микромеханическом гироскопе RR-типа включает в себя ПМ, дифференциальный емкостный датчик, образованный двумя расположенны...