ВАН ДЕ ПЕТ Тенис (NL)

Изобретение относится к устройству модуляции для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка в системе литографии многочисленными элементарными пучками заряженных частиц. Устройство содержит пластинчатый корпус, решетку дефлекторов элементарных пучков, множество выводов (202-205) источника питания для подачи по меньшей мере двух различных напряжений, множество...