ХАФЕН Мартин (FR)

Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроэлектромеханического компонента включает этап изготовления композита первого слоя, содержащего структурированный слой, который является электропроводящим по меньшей мере на первом участке, и канавку, заполненную изолирующим материалом, которая проходит в наружном направле...