ЧАУ Сон (US)

Изобретение относится к средствам отклонения пучка нейтральных частиц. В изобретении предусмотрено использование ускоряющего электрода, находящегося на некотором расстоянии от выходной апертуры, причем упомянутый ускоряющий электрод имеет апертуру, окружающую исходный путь. Ускоряющий электрод и его апертура наклонены под первым углом наклона вдоль первой оси наклона относительно исходного пути пу...