Шиллинг Никита Георгиевич (RU)

Изобретение относится к магнетронной распылительной головке. Охлаждаемая магнитная система магнетронной распылительной головки состоит из магнитов и магнитопровода и оснащена каналами охлаждения. Магнитная система зафиксирована в корпусе криволинейной формы. Верхняя часть магнитопровода выполнена конической. Устройство фиксации выполнено в виде полой проводящей трубы, соединенной с корпусом, на...