Булгадарян Даниэль Грантович (RU)

Изобретение относится к способу определения толщины и контроля скорости эрозии и осаждения тонких слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. В изобретении предусмотрено изготовление и помещение в плазменную установку мишеней из легкого и/или тяжелого элемента (например, вольфрам на боре или углерод на вольфраме) с заданной толщиной поверхностного слоя в те места установки, в кото...